Roots sraigtinis vakuuminis siurblys, skirtas puslaidininkių gamybai

Roots sraigtinis vakuuminis siurblys sujungia Roots siurblių ir sraigtinių siurblių privalumus, siūlydamas švarų, efektyvų ir be alyvos vakuuminį sprendimą sudėtingoms pramoninėms ir laboratorinėms reikmėms. Dėl tarpų sandarinimo konstrukcijos ir be tepalinės alyvos šie siurbliai išlaiko aukštą grynumo lygį ir išskirtinį našumą visą veikimo laiką.

Roots sraigtinio vakuuminio siurblio veikimo principas

• Sraigtinis vakuuminis siurblys (pirmasis etapas):Veikia kaip pirminio etapo siurblys, užtikrinantis didelį siurbimo greitį ir mažą išmetimo slėgį. Mechaninis suspaudimas per tikslius sraigtų tarpelius užtikrina efektyvų, mažai triukšmo ir vibracijos veikimą.
• Roots vakuuminis siurblys (pagrindinis/tarpinis):Sinchroniškai besisukantys dvigubi rotoriai perkelia išmetamąsias dujas iš siurbimo į išmetimo kamerą. Tarpo sandarinimas apsaugo nuo alyvos užteršimo, išlaikydamas švarią vakuuminę aplinką.
• Serijinis veikimas:Abu siurbliai veikia serijiniu būdu, sraigtinis siurblys padidina vakuumo lygį, o Roots siurblys užtikrina stabilų, nuolatinį siurbimo efektyvumą.

Našumo privalumai

1. Energijos taupymas:Optimizuotas siurbimo greičio ir vakuumo lygio santykis sumažina energijos suvartojimą, todėl energijos efektyvumo atžvilgiu pranoksta tradicines vakuumines sistemas.
2. Aukštas efektyvumas:Pasiekia daugiau nei 90 % siurbimo efektyvumą, užtikrinant aukštą vakuumo lygį ir mažą energijos suvartojimą įvairiems procesams.
3. Saugos apsauga:Pažangi valdymo sistema su automatiniu paleidimu/išjungimu, apsauga nuo perkrovos, viršsrovių ir vandens nutraukimo užtikrina ilgalaikį stabilumą.
4. Kompaktiškas dizainas:Vertikalios sukrovimo arba kopėčių konstrukcijos užima mažai vietos, todėl idealiai tinka riboto ploto gamykloms ir laboratorijoms.
5. Lanksti konfigūracija:Reguliuojamas siurblių siurbimo greičio santykis (nuo 1:2 iki 1:8), kad būtų galima prisitaikyti prie įvairių darbo reikalavimų.
6. Apsauga nuo korozijos:Perkrovimo paviršiai yra apdoroti arba pagaminti iš atsparių korozijai medžiagų, tinkamų korozinių dujų išgavimui ir darbui atšiauriomis sąlygomis.

Taikymo sritys

• Chemijos pramonė:Lakūs organiniai tirpikliai, dujos ir naudojimas vakuuminiuose reaktoriuose – plačiai naudojama chemijos ir farmacijos procesuose.
• Puslaidininkių gamyba:Palaiko vakuuminio nusodinimo, valymo ir ėsdinimo procesus.
• Maisto pramonė:Būtina maisto pakavimo, dehidratavimo ir vakuuminio džiovinimo procesams.
• Metalurgijos pramonė:Išgauna dujas metalurgijos krosnyse ir laboratorijose, siekiant stabilizuoti lydymo procesus.
• Laboratorijos ir moksliniai tyrimai:Idealiai tinka vakuuminiams eksperimentams ir dujų surinkimui mokslo įstaigose.
• Elektronikos pramonė:Naudojamas integrinių grandynų gamyboje, ekranų vakuuminiame dengime ir kituose elektronikos gamybos procesuose.